主要规格及技术指标

分辨率：3.0nm @1 kV 1.2nm @30 kV 加速电压：0.1-30 kV连续可调 溅射电流：10,20,30,40mA 溅射靶：铂金

主要功能及特色

1.主动式减震器 2.先进的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护 3.标配的五轴马达驱动全对中样品台 4.全自动样品更换气锁 5.全自动样品监控系统 6.全自动物镜光阑 7.多通道显示系统 8.自动减速系统标准配置

主要附件与配置

EDS（Energy Dispersive Spectrometer）：X射线能谱仪