主要规格及技术指标

1．使用slot mode下银标样的最小分辨率为0.48 eV；2．灵敏度大于2.5*105 CPS；3. 选区XPS（最小选区为15um，最大选区为110um）

主要功能及特色

大面积XPS，选区XPS（最小15μm），XPS成像，AES，UPS，ISS等。主要用于固体及其薄膜样品表面的组成、化学状态分析，能进行定性、半定量及价态分析，也可进行表面深度剖析。可应用于金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料、纳米材料、矿石等各种材料的研究，以及腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化、包覆、氧化等过程的研究。

主要附件与配置

仪器装备有Mg/Al双阳极X射线源，Al靶单色化的X射线源，电子枪，离子枪，电荷中和系统，XYZq四维方向运动带变温样品台（-150℃~600℃），CCD成像系统等。