主要规格及技术指标

扫描长度：50mm 样品厚度：1.25inches 台阶高度：<100μm 重复性：1μm（10Å） 垂直分辨率：10mm范围(1.5Å) 100mm范围(15Å)

主要功能及特色

主要用途： 应用于薄膜材料的厚度、粗糙度及应力的测试与分析。 具有测量方便、精度高的特点。

主要附件与配置

无