主要规格及技术指标

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主要功能及特色

Elstar Schottky 场发射 SEM 技术和优异性能 FEI的Tomahawk FIB，具备低至500 V的卓越的低电压操作和高至65 nA的束电流性能 全新的差分抽取及 TOF 校正功能，可实现更高分辨率的离子束成像、磨削和沉积 150 x 150 mm 高度精确、高度稳定的压力驱动样品台 优异的成像技术和解决方案，包括先进的Helios二代探测器、流程监控、FEI SmartSCAN和DCFI，有助于拍摄带电样品图像 全面且集成的原型制造能力套组、适用于FIB 和 SEM 的16位图案生成器、高级制图特征库以及范围广泛的气体化学和专业知识 超薄样品制备以及三维表征和分析，流程监控和端点检测能力

主要附件与配置

电制冷扫描电镜能谱仪 电子束曝光图形发生器