主要规格及技术指标

Sample size Up to 40 mm, up to 15 mm in height Scan range 100x100x10 μm 3x3x2.6 μm XY sample

主要功能及特色

In air&liquid: AFM (contact + semi-contact + non-contact) / Lateral Force Microscopy / Phase Imaging/Force Modulation/ Adhesion Force Imaging/ Lithography: AFM (Force) In air only: STM/ Magnetic Force Microscopy/ Electrostatic Force Microscopy/ Scanning Capacitance Microscopy/ Kelvin Probe Microscopy/ Spreading Resistance Imaging/ Lithography: AFM (Current), STM/ AFAM (optional)

主要附件与配置

AFM扫描头 大量程扫描器 小量程扫描器 用于电流测量的针尖座 用于电压测量的针尖座 通用基座 样品台 防尘隔音罩 控制箱 PCI接口卡 工具箱 针尖套装 校正光栅