主要规格及技术指标

X-Y方向扫描范围：90um*90um Z方向扫描范围：10um X-Y定位噪音（闭环）：≤0.15nm RMS Z传感器噪音水平（闭环）：35pm RMS 样品尺寸：10mm≤ 直径 ≤210mm，厚度 ≤15mm，真空吸附

主要功能及特色

表面形貌测量

主要附件与配置

500万像素显微镜光学系统