主要规格及技术指标

通过电镜的高速束闸开关控制电镜电子束开断，实现电子束曝光功能； 扫描频率：6MHz； CAD设计绘图、参数设定、束流控制、曝光、套刻、邻近效应修正； 集成了GDSII编辑器，可对图形进行分层设计

主要功能及特色

无

主要附件与配置

无