主要规格及技术指标

二次电子分辨率：3.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm高真空模式） 背散射电子分辨率：4.0nm（加速电压=30kV，WD=5mm低真空模式）

主要功能及特色

观察材料表面形貌

主要附件与配置

布鲁克能谱仪EDS，可做能谱、Mapping