主要规格及技术指标

点分辨率：≤0.21nm@200KV； 线分辨率：≤0.10nm@200KV；0.2nm@100KV 信息分辨率：≤0.12nm@200KV 能量分辨率：≤0.70eV 束斑漂移：<1nm/min 加速电压：60*,80*,100,120*,200kV

主要功能及特色

主要用于材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构分析、系统有电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。可以在极短时间内得到高分辨率的图像观察和成分分析，结合高灵敏度的能谱仪可以实现快速的成分分析。

主要附件与配置

场发射透射电镜基本单元，扫描透射附件(STEM)，EDS能谱分析仪