主要规格及技术指标

分辨率:0.6nm（15 kV）；0.7nm（1 kV） 放大倍数:10 to 1,000,000x 加速电压:0.01 to 30kV 束流强度:1pA到500nA 样品台最大偏压：5 kV 样品台:5轴马达驱动

主要功能及特色

丰富的检测器系统 高空间分辨率观察 浸没式肖特基Plus电子枪 超级混合式物镜/SHL

主要附件与配置

高位探测器（UED）、低位探测器（LED）、背散射电子探测器（RBED）、平插能谱仪探测器（EDS)、电子背散射衍射探测器（EBSD）