主要规格及技术指标

二次电子分辨率优于0.9nm@15kV， 1.7nm@1kV 离子束和电子束双束交叉点（WD=5mm）二次电子分辨率优于2.3nm@1kV 离子束分辨率优于3.0nm@30kV

主要功能及特色

1.Gemini电子光学技术 2.出色的低电压电子束分辨率 3.可变气压模式 4.实现从大范围切割到纳米精度加工 5.三维重构功能

主要附件与配置

Oxford X射线能谱仪、真空转移盒