主要规格及技术指标

1、扫描范围：XY：90 um×90 um，Z：15 um 闭环噪音(精确定位）：XY≤0.5 nm, Z≤0.25 nm 2、样品尺寸：直径≤80 mm 3、C-AFM：电压最大10V，电流测量范围1pA-20nA 4、Litho-PFM 最大施加电压150V

主要功能及特色

1、形貌测试：接触模式 轻敲模式 2、导电原子力显微镜模式（c-AFM） 3、压电响应力显微镜模式(PFM) 4、矢量PFM 模式(V-PFM) 5、PFM和C-AFM同时扫描

主要附件与配置

1、高压模块，最高电压150 V（仅针对Litho-PFM模式） 2、高温模块，室温-250℃ 3、用于电流测量的针尖座 4、PPLN标样