南开大学
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刻蚀机
联系人：
李珊珊, 郭兰军
邮箱：
guolanjun@nankai.edu.cn
电话：
18920310717
生产厂家：
北京创威纳科技术有限公司
型号：
ICP-8100
购置日期：
2009-01-01
主要规格及技术指标
刻蚀气体有O2、Ar、SF6、CHF3
主要功能及特色
刻蚀气体有O2、Ar、SF6、CHF3
主要附件与配置
主机1台；样品台1个
nkyqpt@nankai.edu.cn 022-23508139