南开大学
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电感耦合反应等离子刻蚀机
联系人：
邮箱：
ren_mengxin@128.com
电话：
13602039273
生产厂家：
Oxford Instruments
型号：
PlasmaPro 100
购置日期：
2018-06-08
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
无
主要附件与配置
微纳加工
nkyqpt@nankai.edu.cn 022-23508139