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等离子体辅助原子层沉积系统
联系人:
邮箱:
xdzhang@nankai.edu.cn
电话:
13820413518
生产厂家:
SENTECH
型号:
SI PEALD
购置日期:
2015-12-01
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
无
主要附件与配置
气相沉积