南开大学
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薄膜沉积腔室系统
联系人：
邮箱：
xdzhang@nankai.edu.cn
电话：
13820413518
生产厂家：
中科院沈阳科仪公司
型号：
cluster-pecvd
购置日期：
2012-06-01
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
无
主要附件与配置
气相沉积
nkyqpt@nankai.edu.cn 022-23508139