南开大学
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化学气相沉积系统
联系人：
邮箱：
xdzhang@nankai.edu.cn
电话：
13820413518
生产厂家：
北京北仪创新真空技术有限公司
型号：
HW-VHF-PECVD
购置日期：
2004-04-01
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
无
主要附件与配置
薄膜沉积
nkyqpt@nankai.edu.cn 022-23508139