主要规格及技术指标

1.搭配相干COMPex201脉冲激光器，波长248nm，脉冲能量750mJ，重复频率10Hz。 2. 背底真空优于10-6 mbar（未烘烤），经过>48小时烘烤，背底真空度优于9X10-8mbar。 3. 手动Z向位移台，行程100mm。 4. 直流电源供电，最高加热温度950°C。

主要功能及特色

激光脉冲沉积是一种用途广泛的薄膜沉积技术，通过建立获得最佳薄膜质量的临界参数，适合于沉积复杂氧化物、氮化物、硫化物等功能薄膜

主要附件与配置

1.操作软件一套。