主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件与配置

主要用于量子点及钙钛矿光伏器件活性层、界面层和电极层的制备，同时可兼顾量子点发光二极管器件。系统由真空镀膜室、真空获得系统、手套箱系统、中控系统和冷却及保护系统等部分组成。