主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件与配置

手套箱内真空镀膜系统具有高真空金属（氧化物）电阻蒸发薄膜沉积装置，同时满足惰性气体环境的样品制备、器件检测及后期处理等。适用于有机和无机电子学器件制备。