主要规格及技术指标

1.全自动样品台 2.智能扫描模式 3.XY方向扫描范围≥90um，Z方向≥9um 4.扫描器噪音：RMS ≤0.03 nm(垂直方向)，横向分辨率：0.1 nm (XY方向) 5.自动智能自动进针方式 6.配置相位成像，扭矩共振模式，MFM，EFM，KFM，PFM,力曲线/力谱测量

主要功能及特色

1. 自动设定扫描，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈，无需寻找共振峰，无需调整反馈参数 2.智能进针模式，保护探针及样品,可更容易的得到高分辨的测试要求 3. 配置力、电、磁等多领域多功能测试

主要附件与配置

1.防震：提供防震装置（需要防止低频共振），Z向防震频率≤0.5Hz。可实现AFM云母原子像测试要求。 2.光学系统：≥500万像素CCD，1.5微米光学分辨率。至少200μm-1200μm视场区域。 3) BNC开放信号接口：用户可通过开放接口提取或控制系统，可与其他设备信号交换。