主要规格及技术指标

1、离子束系统：（1）加速电压：0.5kV-30 kV；（2）交叉点分辨率：2.5nm-4.0nm 2、电子束系统：（1）加速电压：200V-30KV；（2）最佳分辨率：0.6nm 3、放大倍数：～250W 4、样品台：五轴驱动样品台，最大样品直径≥122mm 5、独立分离式气体注入系统（包含pt、W、C）

主要功能及特色

1、具有离子、电子双束系统，可同时满足样品高质量加工与成像的需求； 2、定点透射电子显微镜样品制备，可满足原子级别透射电镜观察的需要； 3、精确的微纳加工，包括图形沉积、离子束刻蚀、电子束曝光等。

主要附件与配置

冷却循环水，机械泵，空压机，CCD主相机，一体化纳米机械手