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- 主要规格及技术指标
- 1.ASCOR聚光镜STEM球差校正器(200kV/80kV/30kV下球差校正)
2分辨率:点分辨率(DDM):0.19nm(200KV),0.29nm(80KV);线分辨率:0.10nm(200KV),0.11nm (80KV); 信息分辨率(杨氏分辨率):0.11nm(200KV);STEM图像分辨率:0.0707nm(200KV),0.1045nm(80KV),0.164nm(30KV选配,保证束斑是圆的)。背散射电子分辨率:1nm
3能量发散度:0.33eV(200KV, 发射电流1μA以下时);在此能量分辨率下可实现高空间分辨率的高信噪比的原子级分辨率图像
4小束斑下的束流强度:0.136nm≥1nA或更高;
5物镜参数:球差系数Cs:0.5cm;
6聚光镜球差校正后的参数(200KV&80KV&30KV)
B2≦100nm;A2≦100nm;C3≦±5μm;S3≦±3μm;A3≦±3μm;A4,B4,D4≦±20μm;Rongchigrand≥50mrad(200KV&80KV&30kV)。
7束流漂移:1nm/min或更低(200KV&80KV);
8样品漂移:0.5nm/min或更低(200KV&80KV);
9污染速度:0.4nm/min或更低(200KV&80KV);
10放大倍数: TEM:50X-2,000,000X(荧光屏为参考面);配有洛伦茨模式:可进行铁磁性样品的磁畴观察(倍率50X-50,000X,荧光屏为参考面);STEM:200X-150,000,000X
11真空系统:四级真空系统;电子枪室:≤109Pa;样品室:≤ 2x105Pa;
12样品台及倾斜角:样品倾斜角度:双倾样品杆X/Y=25/25;样品移动范围:2mm(X,Y),0.2mm(Z); X/Y/Z三轴步长优于0.04nm;
- 主要功能及特色
- 1. 球差自动校正合轴系统:无需标准样品就可进行矫正器调整至四阶
2.超高空间分辨率
3. 一体化电制冷能谱仪探测器,无窗设计,集成在电镜极靴内,可伸缩双轴对称设计
4.实现200KV/80KV/30KV多电压下的电镜实验
- 主要附件与配置
- 1. 冷却水循环系统、变压器、压缩机及必要的外围附属设备一套
2. 普通单倾样品杆一根;双倾样品杆一根;Be双倾样品杆一根
3. 真空转移双倾Be样品杆一根
4. 底插CMOS数字化成像系统(原厂软硬件)一套(gatanOneview 底插16M像素15微米像素点CMOS相机);Gatan Oneview 1095透射电镜用数字化成像系统
5. 一体化能谱仪配置
6. Gatan GIF 1065能量损失谱系统(原厂软硬件)一套
7. 扫描透射(STEM)模式探测器:ABF,BF,HAADF同时安装,同时采集图像,还可以通过实时信号处理得到e-ABF像,进而轻松地观察从轻元素到重元素。HAADF采用复合材料全新探测器;
8. 主机厂家生产的透射电镜专用主动消磁器
9. 主机厂家生产的透射电镜专用一体化主动减震器