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- 主要规格及技术指标
- 1 CEOS六极子物镜TEM球差校正器(200kV/80kV下球差校正)
2 分辨率
使用球差校正器时线分辨率:0.07nm(200KV),0.07nm (80KV);
信息分辨率(杨氏分辨率):0.1nm(200KV);
STEM图像分辨率:0.19nm(200KV)
3能量发散度:0.33eV(200KV, 发射电流1μA以下时);在此能量分辨率下可实现高空间分辨率的高信噪比的STEM图像
4小束斑下的束流强度:0.2nm≥1nA或更高;
5物镜参数:球差系数Cs:-0.1mm到1mm;
6聚光镜参数:球差系数Cs:1.0nm
7球差自动校正合轴系统:自动课调到三阶
8束流漂移:1nm/min或更低(200KV&80KV);
9样品漂移:0.5nm/min或更低(200KV&80KV);
10污染速度:0.4nm/min或更低(200KV&80KV);
11放大倍数:TEM:50X-2,000,000X(荧光屏为参考面);配有洛伦茨模式:可进行铁磁性样品的磁畴观察(倍率50X-50,000X,荧光屏为参考面);STEM:200X-150,000,000X
12真空系统:四级真空系统;电子枪室:≤109Pa;样品室:≤ 2x105Pa;
13样品台及倾斜角:双倾样品杆X/Y=35/30;样品移动范围:2mm(X,Y),0.4mm(Z);X/Y/Z三轴:步长优于0.04nm;
- 主要功能及特色
- 1. 球差自动校正合轴系统:自动调到三阶
2.超高空间分辨率
3. 一体化电制冷能谱仪探测器,无窗设计,集成在电镜极靴内,可伸缩双轴对称设计
4.实现原位液体或气体氛围下的实验
5.三维重构功能
- 主要附件与配置
- 1. 普通单倾样品杆一根; 双倾样品杆一根;Be双倾样品杆一根
2. 原位气体、液体样品杆各一根
3.一套三维重构系统:TEM/STEM/EDS的数据采集软件;重构专用样品杆一支;重构专用电脑
4.底插CMOS数字化成像系统带原位功能(原厂软硬件)一套(GatanOneview IS、底插16M像素15微米像素点CMOS相机)
5.一体化能谱仪配置 (超巨EDS系统(探测面积约200mm2,超级固体角 1.7sr)
6. Gatan GIF 1069能量损失谱系统带原为功能(原厂软硬件)一套;能量过滤 (EFTEM)和电子能量损失谱(EELS)分析系统,含软件
7. 主机厂家生产的透射电镜专用主动消磁器
8. 主机厂家生产的透射电镜专用一体化主动减震器