主要规格及技术指标

分辨率:0.8nm (15kV)1.2nm (1kV) 放大倍数:25 to 1,000,000x 加速电压:0.01 to 30kV 束流强度:200 nA（15kV) 电子枪:浸没式热场发射电子枪 物镜设计:超级混合式物镜 样品台:5轴马达驱动

主要功能及特色

高速精确分析能力 稳定的大束流 从磁性样品到非导体样品使用范围广泛

主要附件与配置

能谱仪（EDS）：线扫，面扫，含量分析 电子背散射衍射(EBSD)：织构及取向差分析，晶粒尺寸形状的分析，晶界、亚晶及孪晶性质的分析