主要规格及技术指标

加速电压为0.1~30kV。 探针电流5pA~20nA。 分辨率： 0.8nm at 30kV (STEM模式) 0.8nm at 15kV 1.6nm at 1 kV

主要功能及特色

高分辨率表面形貌观察

主要附件与配置

X射线能谱仪（EDS）