主要规格及技术指标

技术指标：1. 最大观测位移:15×26cm，26（宽）×15（长）×27（高）cm3 2. 载物台尺寸：48×32cm2 3. 放大倍率:50x-

主要功能及特色

主要用途：观测样品表面形貌，测量微观尺寸（包括亮场观测、暗场观测、和DIC观测）

主要附件与配置

MM6-LS22光源 STM6-F31(0.1μm读出器)、STM6-F35(0.5μm读出器) 目镜（MM6-OCC10×、OC10×） 250×150样品台（MM6-CS250） MM6-VL、VLR、VLU