热场发射扫描电子显微镜加入平台

我校物理学院新购置的热场发射扫描电子显微镜加入校级大仪平台，欢迎校内外用户预约使用。本仪器的规格型号为Zeiss公司的Merlin Compact，技术参数如下：

加速电压为0.02~30kV；探针电流5pA~20nA；

分辨率：0.8nm at 30kV (扫描透射模式)，0.8nm at 15kV，1.6nm at 1 kV

本仪器的主要特点是具有极高的分辨率，由AsB（角度选择背散射电子探测器）、SE（样品室二次电子探测器）和In-lens DUO（镜筒内安装的二次电子探测器+背散射电子探测器）组成的检测系统可以全方位的接受信号，并进行高分辨率表面观察、大景深形貌以及元素分辨等多种成像。凭借特有的Inlens Duo探头可以使样品非常贴近极靴以获得极高分辨率的图像质量，或者对易损伤的样品进行极低电压的扫描成像。同时还配有STEM（扫描透射探头）可以对核壳结构进行透射观察，以及EBIC（电子束感生电流）接口可以进行电子元器件的检测（PN结的定位和损伤检测）。

配件及其它功能：

配有牛津公司的X-max能谱仪，可对特定选区进行元素分析。还配有Raith公司的图形发生器，可对电子束进行控制从而实现图形曝光。